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微量氣體分析儀

微量氣體分析儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):GA-360E
  • 更新時(shí)間:2024-03-18
  • 產(chǎn)品介紹:微量氣體分析儀
    它是可以對(duì)用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高精度 (檢測(cè)感度可至10ppb) 連續(xù)檢測(cè)的裝置。由于采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式,可以和零氣體不斷比較的同時(shí)進(jìn)行檢測(cè),所以沒(méi)有零點(diǎn)漂移,能夠獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定的檢測(cè)值。由于它通過(guò)19英寸RACK方式進(jìn)行了集中,所以系統(tǒng)升級(jí)也很容易。適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理 。
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產(chǎn)品介紹

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品性能

1分析儀可以搭載CO/CO2/CH4中的2種成分,2種成分可同時(shí)以數(shù)字形式顯示濃度。

采用了交替流動(dòng)調(diào)制方式,沒(méi)有零點(diǎn)漂移,可以獲得長(zhǎng)期穩(wěn)定的連續(xù)檢測(cè)值。

不需要進(jìn)行光學(xué)調(diào)整,維護(hù)性得到了提高。

由于搭載有流量(壓力)異常、斷路器(電磁閥)、失火報(bào)警(GA-360E)、電源斷開的自我診斷功能,所以能夠迅速地在發(fā)生異常時(shí)采取措施。

微量氣體分析儀 

產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格

測(cè)量原理

GA-360E:交替流動(dòng)調(diào)制方式非分散紅外線分析法

GA-360E

交替流動(dòng)調(diào)制方式火焰電離檢驗(yàn)方法

檢測(cè)對(duì)象氣體

GA-360E:CO/CO2/CH4內(nèi)可選取2種成分

檢測(cè)量程

GA-360E:0?1/2/5/10ppm

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